Vacuum insuficiente: verifique se o selo está envelhecendo e se a bomba de vácuo funciona normalmente.
Catamento irregular: ajuste a posição do alvo, velocidade de rotação do substrato ou fluxo de gás.
Se o dispositivo estiver superaquecido, verifique se o sistema de resfriamento funciona corretamente e limpe os componentes de dissipação de calor.
Falha de energia: verifique as linhas de energia e os controladores e substitua os componentes, se necessário.
Perda de alvo muito rápida: ajuste o vácuo Oinsuff de potência de pulverização
Problema: os níveis ruins de vácuo podem afetar a qualidade do revestimento.
Solução: Verifique se há vedações de envelhecimento e verifique se a bomba de vácuo está funcionando corretamente. A manutenção regular da sua máquina de revestimento de PVD é essencial para impedir a degradação do desempenho.
Revestimento irregular
Problema: espessura ou lustração inconsistente do filme.
Solução: Ajuste a posição alvo, a velocidade de rotação do substrato ou o fluxo de gás. Para modelos de máquinas de revestimento de pulverização de íons multiarc, otimizar esses parâmetros garante deposição uniforme.
Superaquecimento do dispositivo
Problema: O calor excessivo pode danificar os componentes.
Solução: Inspecione o sistema de resfriamento e limpe os componentes de dissipação de calor. O gerenciamento térmico adequado é crucial para a longevidade do equipamento de revestimento de hardware.
Falha de energia
Edição: desligamentos repentinos ou problemas elétricos.
Solução: verifique linhas de energia e controladores; Substitua peças com defeito, se necessário. As unidades de máquina de revestimento de pulverização em PVD de alta qualidade geralmente incluem proteção de ondas para estabilidade.
Perda de alvo muito rápido
Problema: O desgaste excessivo do alvo aumenta os custos operacionais.
Solução: Reduza a potência da pulverização ou substitua o alvo. Para sistemas de máquina de revestimento de pulverização de íons magnetron, o uso de alvos de alta pureza melhora a eficiência. R Substitua o alvo.